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ITO 靶材

Indium Tin Oxide Target

ITO靶材以磁控溅射等方式用于导电玻璃的制备. ITO镀膜具有导电性、对可见光的透明性以及对红外线的反射性三个特性,其广泛用于显示屏、玻璃幕墙、触摸屏、太阳能电池、雷达屏蔽、冰柜、防雾玻璃等产品,尤以显示屏为大宗.

ITO旋转靶材 & ITO平面靶材

恒博通过独立自主的研发,在与上下游厂商合作中, 为ITO靶材由进口垄断逐渐变为国产化产品供应做出了应有的责任.

ITO 旋转靶材

通过G8.5的认证,恒博以无压烧结法制作的ITO旋转靶材具有高密度、高焊合率以及大尺寸的特性.





独立原材料生产线

拥有一条完整的独立ITO原材料粉体制备生产线可以使恒博严格控制原材料产品质量。经过二次开发的全新粉体制备方法使恒博的ITO原材料粉体具有高纯度以及高均匀性的特质.





杂质元素含量

Si ≤5; Fe ≤3; Ca ≤3; Na ≤3; Cu ≤2; Cd ≤1.

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ITO 平面靶材

通过G4.5认证的平面靶材能够满足与旋转靶材同样的高密度、高焊合率以及大尺寸的特性.




纯度 ≥99.995%

一套完整的质量检测体系是保障产品质量及稳定性的重要环节。恒博在此项的投入完全按照国际检测标准而购进检测设备。独立的检测体系使得恒博可以在第一时间发现产品问题并解决,这不仅保障了客户的权益,同样大大加快了生产周期.




独立检测体系

ITO的成品质检需经过7项检测。分别为产品批号、产品外观、产品尺寸、强度宽度、纯度以及电导率。检验设备将会涉及密度测量天平、等离子体质谱仪、全谱直读等离子体发射光谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜等.

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Ito靶材技术指标

specifications of ITO target

公司拥有完整的ITO靶材的产业化生产线,包括从粉体生产、成型、烧结、加工、废靶回收等完整产业链。

  • 三十道生产工艺
  • 密度偏差<0.10%
  • 相对密度:≥99.8%
  • 理论密度高达:7.156

Ito靶材使用方测试结果

Test result from ito client

测试项目:

  • 导入测试:入厂检、膜质测试(THK、Rs、Unif、CD loss、Tr、Stress、Particle、黏附率、Mura等)、电性测试、光学测试、RA测试
  • 稳定性测试:THK、THK Unif、Rs、CD loss、Tr、Particle增量
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十六年积累的大规模生产高纯氧化物材料的技术及管理经验 & Apple Inc.指定的蓝宝石用高纯氧化铝供应商

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