ITO 靶材
Indium Tin
Oxide Target

ITO靶材以磁控溅射等方式用于导电玻璃的制备. ITO镀膜具有导电性、对可见光的透明性以及对红外线的反射性三个特性,其广泛用于显示屏、玻璃幕墙、触摸屏、太阳能电池、雷达屏蔽、冰柜、防雾玻璃等产品,尤以显示屏为大宗。

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ITO旋转靶材 & ITO平面靶材

恒博通过独立自主的研发,在与上下游厂商合作中,为ITO靶材由进口垄断逐渐变为国产化产品供应做出了应有的责任.

ITO 旋转靶材

通过G8.5的认证,恒博以无压烧结法制作的ITO旋转靶材具有高密度、高焊合率以及大尺寸的特性.

ITO 平面靶材

通过G4.5认证的平面靶材能够满足与旋转靶材同样的高密度、高焊合率以及大尺寸的特性.

独立原材料生产线

拥有一条完整的独立ITO原材料粉体制备生产线可以使恒博严格控制原材料产品质量。经过二次开发的全新粉体制备方法使恒博的ITO原材料粉体具有高纯度以及高均匀性的特质.

纯度 ≥99.995%

一套完整的质量检测体系是保障产品质量及稳定性的重要环节。恒博在此项的投入完全按照国际检测标准而购进检测设备。独立的检测体系使得恒博可以在第一时间发现产品问题并解决,这不仅保障了客户的权益,同样大大加快了生产周期.

杂质元素含量

Si ≤5; Fe ≤3; Ca ≤3; Na ≤3; Cu ≤2; Cd ≤1.

独立检测体系

ITO的成品质检需经过7项检测。分别为产品批号、产品外观、产品尺寸、强度宽度、纯度以及电导率。检验设备将会涉及密度测量天平、等离子体质谱仪、全谱直读等离子体发射光谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜等.

十六年积累的大规模生产高纯氧化物材料的技术及管理经验 & Apple Inc.指定的蓝宝石用高纯氧化铝供应商

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  • ITO平面靶材
  • ITO旋转靶材
  • 供货标准

恒博公司已建成2条ITO靶材生产线,包括从粉体生产、成型、烧结、加工、Bonding以及废靶回收的完整产品线。

认证:通过G8.5认证,并已成为国内知名TFT面板厂商供应商


产能:10吨/月


可订制尺寸以满足客户生产工艺

性能
Properties
单位
unit
标准值
Standard Value
类型
Types
wt% In2O3:SnO2=90:10
Others are subject to
the requirements of the
customers
单块平面靶最大规格
Max Size of single Plane ITO
mm 1200x400x(6.0-10)
相对密度
Relative Density
/ ≥99.8%
Ca (ppm) <2 <2
体积电阻率
Volume Resistivity
Ω·cm 1.35x10-4
抗弯强度
Bending Strength
Mpa ≥150
纯度
Purity
/ ≥99.995%
失氧率
Oxygen Loss Rate
/ ≤0.5%

ITO靶材以磁控溅射等方式用于导电玻璃的制备. ITO镀膜具有导电性、对可见光的透明性以及对红外线的反射性三个特性.

其广泛用于显示屏、玻璃幕墙、触摸屏、太阳能电池、雷达屏蔽、冰柜、防雾玻璃等产品,尤以显示屏为大宗.

认证:已进行G8.5的认证


产能:5吨/月


可订制尺寸以满足客户生产工艺

性能
Properties
单位
unit
标准值
Standard Value
类型
Types
wt% In2O3:SnO2=90:10
Others are subject to
the requirements of the
customers
单节旋转靶最大规格
Max Size of single Rotated ITO
mm Φ135xΦ153x450
相对密度
Relative Density
/ ≥99.8%
Ca (ppm) <2 <2
体积电阻率
Volume Resistivity
Ω·cm 1.35x10-4
抗弯强度
Bending Strength
Mpa ≥150
纯度
Purity
/ ≥99.995%
失氧率
Oxygen Loss Rate
/ ≤0.5%

供货标准表
标准 平面ITO靶材 旋转ITO靶材
密度 ≥7.142 ≥7.142
纯度 ≥99.99% ≥99.99%
功率密度 ≥6W/cm2 ≥5.4W/cm2
焊合率 ≥98% ≥98%
尺寸 按图纸标准

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