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恒博公司在过去的一年中,通过不间断的实验以及自主研发,成功在四拼靶材的技术基础上,突破"ITO双拼平面靶材"的技术瓶颈。
双拼靶材相较于以往的四拼靶材可以明显的降低因缝隙多造成的溅射后,异物多,良率低的问题。
恒博"ITO双拼平面靶材"在通过友商数月的不间断上机测试后,一次性通过上机测试要求,结果符合实际使用需求。
作为国内同时兼具独立研发生产制造"ITO平面靶材"以及"ITO环形靶材"的生产商,恒博在此项技术的突破,再次为我国ITO靶材国产化进程添砖加瓦。
技术参数
单块长度:1325mm
厚度:8mm
*注:以上参数仅供参考,可根据客户实际需求,适当调整。
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